電感耦合等離子體（ICP）是由高頻電流經感應線圈產生高頻電磁場，使工作氣體形成等離子體，并呈現火焰狀放電（等離子體焰炬），達到10000K的高溫，是一個具有良好的蒸發－原子化－激發－電離性能的光譜光源。

ICP定量分析方法主要有外標法、標準加入法和內標法：

1、外標法。利用標準試樣測的常數后，又用該式來確定試樣的濃度。

2、標準加入法，又稱添加法或增量法，用以減小或消除基體效應的影響。

3、內標法。在試樣和標準試樣中分別加入固定量的內標物，利用分析元素和內標元素譜線強度比與待測元素濃度繪制標準曲線，并進行樣品分析。

ICP定量分析的依據是Lomakin-Scherbe  公式：I=aCb

其中I：譜線強度   C：待測元素的濃度   a：常數   b: 分析線的自吸收系數（b與光源特性、待測元素含量、元素性質及譜線性質等因素有關）

一般情況下b≤1，在ICP光源中，多數情況下b≈1。